台式小型机，PLC人机自动控制，简单易用，适用于实验室及小批量工业生产中材料表面清洗、蚀刻、活化等工艺。

提供三种功能配置：

1. 常规的等离子清洗和等离子刻蚀

2. 反应离子刻蚀（RIE）

3. 可转换结构（包含可以进行各向同性和各向异性的等离子工艺）可拆卸的托盘构造。

等离子刻蚀机技术参数：

设备型号：PE-100

腔体尺寸：长方形腔体，长度305 x深度368 x高度305mm；

腔体材质：T-6铝合金一体成型；

腔体容积：34升；

射频电源：13.56MHz；0~300W自动调节；

工作压力范围：1-2000 mT；

气体流量控制：0-50cc/min带精密针阀；

皮拉尼真空计： 0-1Torr；