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产品简介
FR的工具基于白光反射光谱(Reports),准确同步的厚度测量及薄膜的折射率
一个广泛的多样化的应用范围广泛的光电特性的工具和整体解决方案,如:
半导体,
有机电子,
聚合物,
涂料和涂料,
光伏,
生物传感
化学传感
FR -监控软件
用于控制的FR -扫描仪、执行数据采集和分析薄膜的厚度。该系统简单易学,对于初学者能很
快掌握适用于各种windows系统。
4英寸硅片退火处理后二氧化硅膜厚映射
8英寸硅片上沉积多晶硅层的膜厚映射
在3英寸硅片SU-8胶薄膜厚度映射
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