HT20e加热台UNIXX系列

可处理基片达200 mm / 8英寸

半自动单面烘烤系统

设计用于：软烘（预烤）；硬烘

HMDS（六甲基二硅氮烷）的选配：蒸气起泡，真空干燥

HT20e加热台设计用于基材的单面烘烤，用于预烘烤和后烘烤或脱水烘烤过程。尤其适用于粘合剂底漆（HMDS;六甲基二硅氮烷），可用于蒸汽底漆或真空干燥的热板模块。带有电子可编程升降针的烘烤模块，配有触摸屏，便于操作。软件提供了简单方便的过程控制和配方创建。界面简单易于使用，可随时控制流程。这些温度模块有台式安装式，塔式安装式或独立式供选择。

特点：

温度模块（电动）

加热板系统带有电动升降顶针

加热板模块（**300°C）

电子驱动的升降针

标准的顶针由不锈钢和PEEK尖端制成（**250°C）

升降针，可编程（根据不同停止的速度和步长）

加热板表面上的真空管路用于固定基板

手动控制加热板的顶盖

集成式排气

半自动控制器单元：

7英寸彩色触摸屏

配方编辑器来编写，管理和配置

实际可视化效果监控

用于配方，流程，日志文件的库功能（例如，错误跟踪历史记录）

具有密码保护服务访问权限的用户管理

通过USB或Intranet连接进行更新和备份功能

产品参数：

基板尺寸：**直径200毫米（直径8英寸）圆片或200x 200毫米（8 x8英寸）方片；

温度范围：**300°C *，以1°C/步可调；

温度精度：在100°C时<士1°C；

升降针(1套）：直径50 mm（直径2英寸）到直径200 mm（直径8英寸）或200x 200mm（8 x8英寸）；

加热台表面：由硬质阳极氧化铝制成；

加热台顶盖：由微抛光不锈钢制成；

加热台外壳：由PP制成；

控制器单元：7寸触摸屏；

电压：230（110）VAC / 1Ph / N / PE / 50（60）赫兹；

CDA：8 bar，管外径6 mm；

真空：-0.8 bar / -600bar，管外径6 mm；

排气炉：1 x 外径 40毫米，80立方米/小时；

氮气（可选）：4土2bar，管外径6 mm；

HT20p加热台UNIXX系列

可处理基片达200 mm / 8英寸

手动控制单面烘烤系统

单面烘烤系统

可选项，还提供温度高达600°C的加热板

温度模块设计用于单面烘烤用于烘烤前和烘烤后的基材。带有气动升降销的烘焙模块配有一个手动PID控制器和计时器开关。 经过微处理（PID）控制器用于高测量温度控制准确性。 确定过程的设定值和参数用5场塑料薄膜键盘调节。可自由编程的定时开关有两个可调派生计时器和两个省略计时器。 与各种参数的可能性，两个输出触点和两个切换输入将允许使用任何一种应用程序可以使用的。 计时器可以使用前按钮和开关输入。

特点：

温度模块（气动）

加热板系统带有气动升降顶针

加热板模块（**300°C）

气动顶针

标准的顶针由不锈钢和PEEK尖端制成（**250°C）

加热板表面上的真空管道用于固定基板

手动控制加热板的顶盖

集成式排气

手动控制器单元：

•1个PID 控制器，用于在高测量时进行温度控制。通过调节薄膜键盘的5个键来设定关键参数。

•1个计时器开关，带有两个可调微分计时器和两个延时计时器，并可以设置各种参数。

可以使用前按钮和开关输入来启动和停止计时器。

产品参数：

基板尺寸：**直径200毫米（直径8英寸）圆片或200x 200毫米（8 x8英寸）方片；

温度范围：**300°C *，以1°C/步可调；

温度精度：在100°C时<士1°C；

升降针(1套）：直径50 mm（直径2英寸）到直径200 mm（直径8英寸）或200x 200mm（8 x8英寸）；

加热台表面：由硬质阳极氧化铝制成；

加热台顶盖：由微抛光不锈钢制成；

加热台外壳：由PP制成；

控制器单元：1个PID控制器，1个计时器；

电压：230（110）VAC / 1Ph / N / PE / 50（60）赫兹；

CDA：8 bar，管外径6 mm；

真空：-0.8 bar / -600bar，管外径6 mm；

排气炉：1 x 外径 40毫米，80立方米/小时；