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产品系列
我们所提供的紫外臭氧清洗系统是一种简单,经济,高效的材料表面清洗设备。只需把样品放置到托盘上,关上舱门,设置时间,按下运行按钮,就可以在几分钟内,快速去除大多数无机基材上的有机污染物,为您提供超洁净的表面。通过使用高功率紫外线光源产生臭氧,将污染物分解成挥发性化合物。这些挥发性化合物从表面蒸发而不留痕迹。这种方法可产生接近原子级的清洁表面并且不会损坏样品。
应用工艺:
?改善表面亲水性
?表面清洗
?准备薄膜沉积
?表面处理
?紫外固化
?表面灭菌消毒
?去除表面单分子膜
?表面氧化
?清洗AFM / STM探针
?清洗光学元件
可清洗的基材示例:
?石英
?硅
?氧化硅
?氮化硅
?金
?镍
?铝
?砷化镓
?矾土
?玻璃
?不锈钢
可去除的污染物示例:
?光刻胶
?树脂
?人体皮肤油脂
?清洗溶剂的残留物
?塑料/硅片表面油渍
?助焊剂
产品特点:
?成本低;
?120x120mm样品台;
?**处理样品高度为14mm;
?抽屉式样品台,简单方便;
?样品台自安全联锁,防止对人身伤害;
?LCD屏显示“已用时间”和“剩余时间”;
?60分钟计时器;
?高强度紫外线灯源;
?可控温的样品台;
?样品清洗无需溶剂;
?超净表面。
产品参数:
紫外灯类型 | 合成石英紫外灯 |
紫外灯主要波长 | 185 nm和254 nm |
UV灯管尺寸 | 100 mm x 100 mm |
UV灯电源 | 4000 V, 30 mA |
UV灯使用寿命 | T80(2000小时); 8 - 10年的标准日常使用 |
适用电压 | 230 V, 0.6 A , 50 Hz // opt. ( 110 V, 1.2 A, 60 Hz ) |
**运行时间 | 59分59秒 |
安全特点 | 安全联锁,高温报警,高温断电 |
托盘尺寸 | 120 mm x 120 mm |
样品**尺寸 | 100 mm x 100 mm |
总尺寸 | 宽204 mm,高227 mm,长300 mm |
下图显示了UV臭氧处理对基材的影响,以改善表面亲水性。
水滴在OTS处理的硅基底(300纳米二氧化硅表面)上,经过紫外臭氧清洗处理前(左图)和处理后(右图)的效果对比。